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本文分析了电容式加速度传感器的工作原理,在此基础上设计了一种大量程加速度计,通过MATLAB进行系统仿真和ANSYS仿真验证,结果显示本设计可以很好的实现要求:量程70g,线性度小于2%,并有较好的稳定性.
一种高g电容加速度计的设计
【摘 要】
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本文分析了电容式加速度传感器的工作原理,在此基础上设计了一种大量程加速度计,通过MATLAB进行系统仿真和ANSYS仿真验证,结果显示本设计可以很好的实现要求:量程70g,线性度
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院
【出 处】
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电子设计应用
【发表日期】
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2005年4期
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