集成电路衬底贯通孔检查装置

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Q672855312
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日本欧姆电机公司出售能鉴别陶瓷集成电路衬底贯通孔优劣的检查机“VIP系列”。该机使用独特的图像信息处理装置,能检查最小直径达0.1mm的细孔。它能从很高的析象清晰度反映出贯通孔,一次便能检查所有形状的孔。检查有500个孔的衬底时,耗时1.2秒。 Japan’s Ohm Motor Company to sell ceramic chips can identify the pros and cons of the through-hole inspection machine “VIP series ”. The machine uses a unique image information processing device, can check the smallest diameter of 0.1mm pores. It reflects the through-hole from a high resolution and can inspect all the holes in one shape at a time. Examining a 500-hole substrate took 1.2 seconds.
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