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低温等离子体技术是一门已相对成熟和蓬勃发展着的应用学科,它已在传统和高技术领域得到了广泛的应用,优点与工艺机理复杂是应用中的两个方面,本文分以下几个方面对这一技术的特点及其发展进行介绍:1.引言,2.低温等离子体的产生与分类,3.低温等离子体技术的特点及应用,4.低温等离子体技术及其应用的发展,5.低温等离子体技术存在的问题。