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采用热丝CVD方法,在Ф110mm的钼基体上,以丙酮为碳源,在高纯氢的作用下,成功地合成了高质量自支撑金刚石厚膜。X射线、SEM和拉曼光谱分析表明,所合成金刚石厚膜质量均匀,晶体单一、完好、纯度高,生长速度快,已接近制备实用化的金刚石膜的要求。
热丝CVD法制备大面积高质量自支撑金刚石厚膜
【摘 要】
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采用热丝CVD方法,在Ф110mm的钼基体上,以丙酮为碳源,在高纯氢的作用下,成功地合成了高质量自支撑金刚石厚膜。X射线、SEM和拉曼光谱分析表明,所合成金刚石厚膜质量均匀,晶体
【机 构】
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中国矿业大学（北京）超硬刀具材料研究所,北京迪蒙特佳工模具技术有限公司
【出 处】
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超硬材料工程
【发表日期】
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2009年4期
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