FSL1000系列MEMS微量液体流量

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美国流量传感器厂家Siargo出品,主要设置在管道内,利用微型加热器加热液体,通过其前端的MEMS温度传感器来测量液体流量。根据液体在传感器上通过时随流速及重量发生的温度变化来计算液体流量。能够测量50μl/分的微量液体流量,可用于生产设备及液体分析仪器等的液体控制,以及生物、医疗及化学领域的制造用途。
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