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期刊论文
Lagmuir探针电源的研究
Lagmuir探针电源的研究
来源 :长春理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lmtc5238
【摘 要】
:
基于langmuir探针诊断原理,研究了探针供电电源及探针电流、电压检测电路.电源对射频干扰有很好的抑制能力,电压、电流的检测精度均小于0.5%.
【作 者】
:
谭永胜
王景峰
刘支华
【机 构】
:
大连松辽电子工业股份有限公司,长春理工大学
【出 处】
:
长春理工大学学报
【发表日期】
:
2003年1期
【关键词】
:
Lagmuir探针电源
积分转换
等离子体
微细加工
Plasma
Langmuir probe
Power supply
Simple-slope in
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基于langmuir探针诊断原理,研究了探针供电电源及探针电流、电压检测电路.电源对射频干扰有很好的抑制能力,电压、电流的检测精度均小于0.5%.
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