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聚焦离子束技术是一种集形貌观测、定位制样、成分分析、薄膜淀积和无掩膜刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术。对电子离子双束纳米工作站，聚焦离子束、扫描电镜和Ar离子束构成的“三束”显微镜系统的原理和应用作了详细介绍，同时也对聚焦离子束-分子束外延组合装置、聚焦离子束与二次离子质谱仪（SIMS）的组合装置以及单轴聚焦离子／电子束（FIEB）装置作了简单介绍。