【摘 要】
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利用多种气体分析仪,采取四级质谱定量分析技术,分别测定he、n2、ne、cf4、kr等气体在不同入口压力下通过不同的人造漏孔的漏率;经过对同工况下气体间漏率比对,研究气体间漏
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利用多种气体分析仪,采取四级质谱定量分析技术,分别测定he、n2、ne、cf4、kr等气体在不同入口压力下通过不同的人造漏孔的漏率;经过对同工况下气体间漏率比对,研究气体间漏率等效关系.试验结果表明:气体在不同工况下处于不同的流动领域,且其漏率与入口压力存在着不同的数值关系,经分析试验结果得出适用于气体全流域的漏率经验公式;气体间漏率的等效关系在低漏率及高漏率端始终呈平滑的线性关系,而在中间的过渡区域呈四或五次多项式关系;但是cf4与he的漏率等效性呈线性关系,显示出多原子分子与单、双原子分子在粒子输运过
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