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在金刚石薄膜生长技术一文中，本文作者就几种最有代表性的合成方法作了评述，并列出每种方法的合成条件和参数。本文主要是讨论生长机理和结构特性的检测与分析。
金刚石薄膜的生长机理及其结构特性检测
【摘 要】
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在金刚石薄膜生长技术一文中，本文作者就几种最有代表性的合成方法作了评述，并列出每种方法的合成条件和参数。本文主要是讨论生长机理和结构特性的检测与分析。
【机 构】
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合肥工业大学应用物理系
【出 处】
：
新技术新工艺
【发表日期】
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1994年3期
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