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介绍了多孔硅气体传感器的原理和优点,综述了多孔硅气体传感器测量氮氧化物和几种有机气体的机理、方法及最新的研究进展,并分析了传感器的选择性和稳定性,展望了多孔硅气体传感器应用前景。
多孔硅气体传感器
【摘 要】
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介绍了多孔硅气体传感器的原理和优点,综述了多孔硅气体传感器测量氮氧化物和几种有机气体的机理、方法及最新的研究进展,并分析了传感器的选择性和稳定性,展望了多孔硅气体传感器应用前景。
【机 构】
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郑州大学,郑州大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2004年09期
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