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以绝缘样品聚对苯二甲酸乙二醇酯 （PET）为 X 射线光电子能谱（XPS）分析测试对象,探讨了使用不同的 X射线源作为激发源时,磁透镜对荷电中和系统中和效果的影响. 试验结果表明,当使用单色化 Al Kα 为激发源时,磁透镜对荷电中和器的中和效果没有显著影响. 而使用非单色化双阳极 Mg Kα 为激发源,磁透镜开启时才能得到良好的荷电中和效果,磁透镜关闭时所测谱峰会因荷电效应而发生峰形畸变.