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本文介绍了用液氮温度光荧光谱测定硅中磷、硼含量的方法.磷、硼浓度的校准曲线由变温霍耳系数的实验结果所确定.
光荧光法测定硅中磷、硼含量
【摘 要】
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本文介绍了用液氮温度光荧光谱测定硅中磷、硼含量的方法.磷、硼浓度的校准曲线由变温霍耳系数的实验结果所确定.
【机 构】
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中国科学院物理研究所,中国科学院物理研究所,中国科学院物理研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1983年01期
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