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磷硝酸腐蚀是一种适宜于工业化生产的背表面刻蚀工艺．文中采用磷硝酸腐蚀CdTe薄膜，并用溴甲醇腐蚀作为对照实验，研究了两种腐蚀对材料性质的影响．随后用真空蒸发法分别沉积了四种背接触层，提出了适宜于工业化生产的背接触技术，并从实验和理论上对两种背接触结构的CdTe太阳电池进行了分析．
CdS／CdTe太阳电池的背接触
【摘 要】
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磷硝酸腐蚀是一种适宜于工业化生产的背表面刻蚀工艺．文中采用磷硝酸腐蚀CdTe薄膜，并用溴甲醇腐蚀作为对照实验，研究了两种腐蚀对材料性质的影响．随后用真空蒸发法分别沉积了四种
【机 构】
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四川大学材料科学与工程学院
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2007年4期
【基金项目】
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国家高技术研究与发展计划（批准号：2003AA513010）和四川省科技攻关项目基金（批准号：05GG021-003-3）资助项目
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