【摘 要】
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利用扫描电子显微镜研究了热灯丝 CVD系统负衬底偏压增强金刚石核化的过程 ,给出了实验结果 .着重分析了负衬底偏压增强金刚石核化的机制 .
Scanning electron microscope (
【机 构】
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利用扫描电子显微镜研究了热灯丝 CVD系统负衬底偏压增强金刚石核化的过程 ,给出了实验结果 .着重分析了负衬底偏压增强金刚石核化的机制 .
Scanning electron microscope (SEM) was used to study the process of negative substrate biasing to enhance the nucleation of diamond, and the experimental results were given. The mechanism of negative substrate biasing to enhance the nucleation of diamond was emphatically analyzed.
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