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MEMS电容式传感器的迅速发展为后续集成化读出电路的设计提出了巨大挑战.系统地分析了制约微传感器高精度电容读出电路设计的主要因素,回顾了目前主要的几种读出电路结构,阐述了这些电路的基本原理,并对影响电路分辨率的主要设计参数进行了分析和对比,最后探讨了电容式读出电路设计的发展趋势.
MEMS高精度电容读出电路的单芯片集成研究
【摘 要】
：
MEMS电容式传感器的迅速发展为后续集成化读出电路的设计提出了巨大挑战.系统地分析了制约微传感器高精度电容读出电路设计的主要因素,回顾了目前主要的几种读出电路结构,阐
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北方基地,中国科学院研究生院
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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2007年4期
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