芯片刻蚀剂全氟丁二烯生产技术的开发

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全氟丁二烯作为一种优秀的新一代电子蚀刻气体,目前,具有非常好的市场前景.以废旧聚四氟乙烯为原料设计制备全氟丁二烯的工艺流程,包括废旧聚四氟乙烯裂解、1,4-二碘八氟丁烷的合成以及全氟丁二烯合成等实验过程.在小试实验的基础上,获得了该工艺路线的原料消耗成本,并对20t·a-1的工业化生产装置的投资和预期盈利进行了评估,该制备路线生产1t六氟丁二烯的原料成本为50万元左右,具有较好的经济效益.
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