芯片刻蚀剂相关硕士博士期刊学术论文

全氟丁二烯作为一种优秀的新一代电子蚀刻气体,目前,具有非常好的市场前景.以废旧聚四氟乙烯为原料设计制备全氟丁二烯的工艺流程,......