论文部分内容阅读
介绍了CVD ZnS生产工艺、真空气相沉积炉技术性能、设备结构组成及特点。该真空气相沉积炉是制备大尺寸ZnS的关键设备，它生产的CVD ZnS板料尺寸达到了1800 mm（长）×800 mm（宽）×25 mm （厚），单炉产量为1000 kg ，是国内生产ZnS板坯料尺寸最大、单炉产量最多的设备。