锗片清洗工艺对太阳电池性能影响的研究

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随着砷化镓太阳电池对锗片的需求,免清洗锗片的需求日益增加。本文在试验的基础上阐述了锗单晶抛光片的清洗机理。通过对锗抛光片表面有机物和颗粒的去除技术研究,建立了超薄锗单晶抛光片的清洗工艺,利用该清洗工艺制备的锗抛光片完全满足了空间高效太阳电池的使用要求。
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