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高压系统(HV)灭弧断路器中广泛使用SF6气体作为灭弧绝缘介质,本文实现了对SF6气体泄露进行监测。利用超声波测量气体密度的原理,并结合CPLD的高速运算、高精度的特性,实现对环境中SF6气体浓度的高精度、宽量程的测量。系统还集成了温湿度、氧浓度和气压等参数的测量功能。实践证明该系统运行可靠,工作稳定,具有极高的测量精度。