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平面功率器件由于终端pp结的曲率效应,其高压阻断能力受到限制,为了提高高压阻断能力,本文研究了金属场限环的工作机理,进行了金属场限环结构参数的设计,阐述了其制造工艺和实验结果;并和扩散场限环进行了比较,证实了金属场限环是一种工艺简单、对工艺要求低的高压终端技术。
高压金属场限环的研究
【摘 要】
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平面功率器件由于终端pp结的曲率效应,其高压阻断能力受到限制,为了提高高压阻断能力,本文研究了金属场限环的工作机理,进行了金属场限环结构参数的设计,阐述了其制造工艺和
【机 构】
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华中理工大学固体电子学系,华中理工大学固体电子学系湖北武汉430074,湖北武汉430074
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1993年1期
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