【摘 要】
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采用SrO和SrTiO3作为缓冲层,用激光分子束外延在Si(100)衬底上成功地外延生长出La1-xSrxMnO3(x=0.1,0.2,0.3)(LSMO)单晶薄膜.锐而清晰的反射式高能电子衍射仪(RHEED)的衍射条
【机 构】
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中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室,中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室,中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室,中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室,中国科学院物理研
【出 处】
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中国科学G辑:物理学、力学、天文学
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采用SrO和SrTiO3作为缓冲层,用激光分子束外延在Si(100)衬底上成功地外延生长出La1-xSrxMnO3(x=0.1,0.2,0.3)(LSMO)单晶薄膜.锐而清晰的反射式高能电子衍射仪(RHEED)的衍射条纹和持久的RHEED强度振荡,表明LSMO薄膜是很好的二维层状外延生长.X射线衍射和高分辨透射电镜分析结果证明,在Si基底上获得了很好外延生长的LSMO薄膜,LSMO薄膜为C取向的单晶薄膜.并在室温条件下观测到很好的LSMO/Sip-n结I-V整流特性.
The La1-xSrxMnO3 (x = 0.1,0.2,0.3) (LSMO) single crystal films were successfully epitaxially grown on Si (100) substrates by laser molecular beam epitaxy using SrO and SrTiO3 as buffer layers. Diffraction fringes and long-lasting RHEED intensity oscillations of RHEED indicate that LSMO film is a good two-dimensional layered epitaxial growth.X-ray diffraction and high-resolution transmission electron microscopy analysis results show that on the Si substrate, The LSMO film, which is a very good epitaxial growth, LSMO film is a C-oriented single crystal thin film and good LSMO / Sip-n junction IV rectification characteristics are observed at room temperature.
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