【摘 要】
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精密电子天平对其传感器模块的机械性能要求极高,柔性铰链是影响传感器机械性能的关键因素,其加工难点在于完整、薄壁(最小壁厚小于0.1mm)的金属连接,且多个铰链厚度一致性需
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
【基金项目】
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国家重点研发计划重大科学仪器设备开发项目(2017YFF010560)资助
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精密电子天平对其传感器模块的机械性能要求极高,柔性铰链是影响传感器机械性能的关键因素,其加工难点在于完整、薄壁(最小壁厚小于0.1mm)的金属连接,且多个铰链厚度一致性需控制在5μm以内。目前,受制于传感器模块的制造技术,我国0.01mg级电子天平仍然依赖进口,因此迫切需要开发柔性铰链精密加工技术,提升传感器模块制造技术。通过对比工艺试验研究,分析了铣削、铰削、镗削等多种工艺方法,优化了工艺参数,并实现了柔性铰链的稳定加工。
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