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以四乙氧基硅烷（TEOS）为前驱体,通过微波辐照冰水浴TEOS-水-乙醇体系制备硅溶胶,用超声振荡法分散溶胶,在管式炉中烧制高纯度纳米二氧化硅粉体。采用烷氧基硅烷法制备TEOS,不加入酸碱催化剂,在10～30min内制取高纯度硅溶胶,溶胶总金属杂质含量低于300×10-6 mg/L。硅溶胶制备效率高,粒度均匀。用TEM、SEM、EDS、XRD、ICP-MS、FTIR、粒度分布检测仪器和Raman spectrum对实验结果进行了表征和分析。