面阵CCD高精度测量技术的应用

来源 :太原理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:baichuan817
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利用高分辨率面阵CCD,提出一种新的散射均匀光场照明的方法,通过边缘检测,像素细分技术使测量精度突破像素级限制,实测精度为0.01 mm.同时对影响系统精度的因素进行了分析并给出补偿措施,使面阵CCD高精度测量技术成功应用于生产实践中.
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