准分子激光刻蚀聚合物微图形制作研究

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【摘要】

：

主要描述了紫外准分子激光刻蚀聚酰亚胺 (polyimide ,PI)制作微图案实验。通过这种刻蚀方法 ,成功地在PI上制作了微米量级线宽和亚微米量级深度的图案 The microphotograph

【作者】

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章琳楼祺洪魏运荣董景星李铁军黄峰

【机构】

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中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究

【出处】

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激光技术

【发表日期】

：

2002年02期

【关键词】

：

紫外准分子激光刻蚀 PI 微图形制作

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主要描述了紫外准分子激光刻蚀聚酰亚胺 (polyimide ,PI)制作微图案实验。通过这种刻蚀方法 ,成功地在PI上制作了微米量级线宽和亚微米量级深度的图案 The microphotograph experiment of UV excimer laser etching polyimide (PI) was mainly described. By this etching method, a pattern of micron-sized line widths and submicron-order depths has been successfully fabricated on PI

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