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通过XRD和AFM分析了Nd掺杂ZnO薄膜的表面形貌，随着Nd掺杂量的增加，ZnO薄膜的结晶度变差，薄膜表面变得粗糙，晶格畸变增大。应用椭圆偏振仪测定了Nd掺杂ZnO薄膜的厚度及折射率，Nd掺杂量对ZnO薄膜的折射率有一定影响。
钕掺杂氧化锌薄膜的形貌表征与折射率测试
【摘 要】
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通过XRD和AFM分析了Nd掺杂ZnO薄膜的表面形貌，随着Nd掺杂量的增加，ZnO薄膜的结晶度变差，薄膜表面变得粗糙，晶格畸变增大。应用椭圆偏振仪测定了Nd掺杂ZnO薄膜的厚度及折射率，Nd掺
【机 构】
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渭南师范学院物理系
【出 处】
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榆林学院学报
【发表日期】
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2007年6期
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