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为了解决无防弧功能的磁控靶三相整流直流电源在放电过程中电弧对磁控溅射镀膜工业化生产的影响，根据灭弧电路功能和电弧判别方法设计了三种类型的三相可控硅整流电弧电路，有效地抑制了该整流电源电弧造成的危害，大幅度提高了磁控溅射功能，改善了膜层的均匀性和一致性，提高了产品的成品率。
磁控溅射镀膜用灭弧电路
【摘 要】
：
为了解决无防弧功能的磁控靶三相整流直流电源在放电过程中电弧对磁控溅射镀膜工业化生产的影响，根据灭弧电路功能和电弧判别方法设计了三种类型的三相可控硅整流电弧电路，有效
【机 构】
：
兰州物理研究所
【出 处】
：
真空与低温
【发表日期】
：
2000年3期
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