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在湿法刻蚀的工艺过程中，影响刻蚀速度和刻蚀效果的元素有很多，温度是其中一个关键因素，所以在湿法刻蚀设备研制中对温度精度的控制成为重要技术之一。使用基于遗传算法的PID 控制方法来实现对温度的控制，进行仿真以及和传统PID 控制比较，在实际应用中得到了很好的结果。
遗传算法在湿法刻蚀设备温度PID控制中的应用
【摘 要】
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在湿法刻蚀的工艺过程中，影响刻蚀速度和刻蚀效果的元素有很多，温度是其中一个关键因素，所以在湿法刻蚀设备研制中对温度精度的控制成为重要技术之一。使用基于遗传算法的PID 控
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2014年1期
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