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应用激光线结构光传感器 ,将视觉检测成功应用于栅状阵列器件的共面性测量中 ,建立了测量系统数学模型 ,提出了以三点法为基础的共面性评价方法 ,并对BGA芯片进行了相应的试验研究 ,取得了满意的结果。
栅状阵列器件激光视觉检测系统及共面性评价方法
【摘 要】
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应用激光线结构光传感器 ,将视觉检测成功应用于栅状阵列器件的共面性测量中 ,建立了测量系统数学模型 ,提出了以三点法为基础的共面性评价方法 ,并对BGA芯片进行了相应的试
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
【出 处】
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机械工程学报
【发表日期】
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2001年05期
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