【摘 要】
：
针对表面带有微结构硅晶圆的封装展开研究,以采用Ti/Au作为金属过渡层的硅—硅共晶键合为对象,提出一种表面带有微结构的硅—硅共晶键合工艺,以亲水湿法表面活化处理降低硅片
【机 构】
：
西安建筑科技大学陕西省纳米材料与技术重点实验室
论文部分内容阅读
针对表面带有微结构硅晶圆的封装展开研究,以采用Ti/Au作为金属过渡层的硅—硅共晶键合为对象,提出一种表面带有微结构的硅—硅共晶键合工艺,以亲水湿法表面活化处理降低硅片表面杂质含量,以微装配平台与键合机控制键合环境及温度来保证键合精度与键合强度,使用恒温炉进行低温退火,解决键合对硅晶圆表面平整度和洁净度要求极高,环境要求苛刻的问题。高低温循环测试试验与既定拉力破坏性试验结果表明:提出的工艺在保证了封装组件封装强度的同时,具有工艺温度低、容易实现图形化、应力匹配度高等优点。
其他文献
采用YAG脉冲激光器对电弧喷涂Fe基非晶涂层进行激光重熔处理。通过X-ray、SEM、冲蚀磨损和硬度测量仪等检测手段,研究非晶合金涂层在重熔后的组织结构、硬度和抗冲蚀性能的变
以收放系统作为研究对象，讨论缆绳收放系统的储缆绞车和绞盘之间的同步问题。采用SEW变频器实现对交流电机速度与力矩的控制，分析采用变频器实现恒张力的工作原理。针对平台上
【正】工会资产是工会依法取得,并享有所有权、支配权的动产和不动产,是工会赖以生存和发展的物质基础,也是工会成为社团法人的重要条件。医院工会的资产不同于工商企业,一般
随着我国养老保险体制的改革与完善，近年来企业年金业务发展迅速，并且有进一步加速发展的趋势，未来将有越来越多的企业建立企业年金制度。究竟何为企业年金；企业年金对企业和员工的意义何在；如何对规模和覆盖范围日益扩大的企业年金进行管理等等问题都值得深思、探讨和完善。本文结合我国目前企业年金管理的实际情况，从企业的角度对我国企业年金的管理进行探讨。 一、企业年金的含义 企业年金，是用人单位和员工
目的分析林下山参与园参中无机元素特征。方法采用电感耦合等离子质谱(ICP-MS)法测定林下山参和园参药材中无机元素的量,分别建立林下山参和园参的无机元素标准谱,运用SPSS 1
<正>“林下山参”就是采用栽培人参种籽,人工撒播森林,自然生长10-20年做货,俗称“籽货”,这种仿野生人参或半野生人参的抚育在东北产参区已有20多年历史,广为人知,然而对于
出于兼顾准则趋同与中国特色的需要,新企业会计准则中的合并会计规范从合并范围、合并前提等方面进行了创新。文章对由此产生的新问题进行了探讨,同时从合并纳税的角度对编制
我厂的普通车床生产批量大，床头箱体加工基本上都是使用专用镗模。大孔径的粗镗序一般使用自制焊接镗刀头进行加工。由于镗刀头有很多弊端，因此在镗模上试使用450外圆可转位车