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在生产多晶硅过程中会产生大量副产物四氯化硅,将其氢化生成原料三氯氢硅是最有效的方法,可以大幅降低生产成本。主要介绍了热氢化、冷氢化以及等离子体氢化制备三氯氢硅的最新进展。
多晶硅副产四氯化硅氢化生成三氯氢硅研究进展
【摘 要】
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在生产多晶硅过程中会产生大量副产物四氯化硅,将其氢化生成原料三氯氢硅是最有效的方法,可以大幅降低生产成本。主要介绍了热氢化、冷氢化以及等离子体氢化制备三氯氢硅的最
【机 构】
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江苏中能硅业科技发展有限公司
【出 处】
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化工管理
【发表日期】
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2018年27期
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