【摘 要】
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对近场测量中扫描面位置误差引入的远场误差进行了分析,得到位置误差与测量误差之间的数量关系,说明了近场测量中必须保证探头足够的定位精度.针对近场测量中特定的半闭环控
【基金项目】
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教育部优秀青年教师资助计划,国防重点实验室基金
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对近场测量中扫描面位置误差引入的远场误差进行了分析,得到位置误差与测量误差之间的数量关系,说明了近场测量中必须保证探头足够的定位精度.针对近场测量中特定的半闭环控制系统,给出了由计算机编程来进行位置误差补偿的方法,即根据激光测距仪得到的扫描架位置误差数据来校正探头的定位,然后在此基础上采用函数修正的方法进一步提高其定位精度,从而实现了探头的精确定位.测量曲线表明了该方法的可行性.
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