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用射频-磁控共溅射技术制备出Ag体积分数分别为5％，10％，15％和20％的Ag-MgO复合团簇薄膜。用X-射线衍射仪、原子力显微镜和紫外-可见分光光度计研究了复合团簇薄膜的微结构、表面形貌和光学性质。结果表明：随着Ag体积分数从5％增大到20％，薄膜中Ag的平均晶粒尺寸由8．2nm增大到10．9nm，薄膜的平均颗粒尺寸从37．9nm增大到43．4nm，方均根（rms）粗糙度先减小后略有增大，可见光范围内的平均透过率先下降后几乎保持不变。