蓝宝石单晶退火过程晶体开裂原因分析

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α-Al2O3单晶俗称蓝宝石,是一种配位型氧化物单晶,因其与GaN晶格常数接近,长晶及加工工艺成熟,被作为LED的主要衬底材料广泛应用.近年来,随着LED照明产业快速发展,作为LED衬底材料的蓝宝石的市场需求飞速增长.与此同时对蓝宝石的晶体尺寸、质量的要求也越来越高,如何高质量、低成本地生长出大尺寸蓝宝石单晶就成为当前面临的主要任务.
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