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依据半导体集成电路制造技术及封装工艺要求,讨论了模塑封装压机的结构特点及液压控制统应具备的性能.介绍、分析了两例模塑机液压系统设计.
集成电路模塑封装机液压系统
【摘 要】
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依据半导体集成电路制造技术及封装工艺要求,讨论了模塑封装压机的结构特点及液压控制统应具备的性能.介绍、分析了两例模塑机液压系统设计.
【机 构】
：
天津大学机械工程学院
【出 处】
：
液压与气动
【发表日期】
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2003年10期
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