智能制造的大数据分析

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【摘要】

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过去几年,应用材料公司在探索半导体制造业的大数据分析方法上一直走在业界前列.除了赞助美国、亚洲和欧洲先进制程控制(APC)大会[1]等重要的相关技术会议,应用材料公司在此

【出处】

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电子工业专用设备

【发表日期】

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2019年6期

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过去几年,应用材料公司在探索半导体制造业的大数据分析方法上一直走在业界前列.除了赞助美国、亚洲和欧洲先进制程控制(APC)大会[1]等重要的相关技术会议,应用材料公司在此方面的工作还体现在《IEEE半导体制造会刊》(IEEE Transactions in Semiconductor Manufacturing)[2]等同行评审期刊上发表的相关论文.公司在瑞士曼迪匹艾(MDPI)的开放期刊Processes上发表的一篇此类文章,获得了2016年和2017年度“最佳论文奖”[3].

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