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金刚石膜是一种集众多优异性能于一身的新材料,尤其是其热导率高、绝缘性能好以及微波介电损耗低等特点,使金刚石膜在微波电真空器件领域有着重要的应用前景.目前,以微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法制备高品质金刚石膜的技术已趋向成熟.本文将首先简述MPCVD方法沉积金刚石膜的原理，进而介绍国内外MPCVD金刚石膜沉积技术的发展现状以及MPCVD方法在制备高品质金刚石膜材料方面的应用情况。最后，介绍了金刚石膜材料在微波电真空器件的微波输出窗、行波管螺旋线与慢波结构以及场致电子发射器件方面的应用。