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利用离子氮化形成过渡层,通过改变溅射沉积工艺参数,制备了TiAlCrN和TiAlCrN/CrN多层复合膜。采用电子探针（EPMA）、扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）、纳米压痕仪及微米划痕仪等技术表征两种复合膜的成分结构和力学性能。结果表明：两种膜都是面心立方结构,TiAlCrN膜和TiAlCrN/CrN多层膜分别在（111）和（200）面具有一定的择优取向;TiAlCrN膜的结构和成分都比较均匀,而TiAlCrN/CrN多层膜的结构和成分则呈周期性变化。由于离子渗氮层的支撑作用及氮化物外延