TiAlCrN膜相关硕士博士期刊学术论文

TiAlCrN膜相关论文

利用离子氮化形成过渡层,通过改变溅射沉积工艺参数,制备了TiAlCrN和TiAlCrN/CrN多层复合膜。采用电子探针（EPMA）、扫描电子显微镜（SE......

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