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展示了一种应用于低能大束流离子注入机的消除能量污染的减速偏转模块的设计及仿真计算结果,重点介绍了设计思路和对一些关键因素相关的仿真计算结果的分析。仿真计算结果表明所设计的减速偏转模块具有足够的离子束控制能力。
离子注入机减速偏转模块设计及仿真计算研究
【摘 要】
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展示了一种应用于低能大束流离子注入机的消除能量污染的减速偏转模块的设计及仿真计算结果,重点介绍了设计思路和对一些关键因素相关的仿真计算结果的分析。仿真计算结果表
【机 构】
：
北京中科信电子装备有限公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2018年3期
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