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针对目前水质参数传感器测量功能单一,且受环境温度影响大等问题,提出了一种具有温度补偿功能的多参数水质传感器芯片。该传感器芯片是使用微机电系统(MEMS)技术制造的,芯片表面集成了pH传感器、DO传感器、氨氮传感器和温度传感器。为实现温度补偿,芯片还设计了一种夹心板式蛇形Pt电阻加热器。同时设计了与芯片相适应的微流控测试腔,以实现水样测量。采用有限元稳态热分析对4种加热器热传递过程进行分析,得到合理的芯片结构布局,通过MEMS工艺制作出传感器芯片。采用自制的恒电位仪测试电路,对传感器芯片性能进行了测试