【摘 要】
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研制出检测ULSI芯片的薄层电阻测试仪，可用于测试无图形样片电阻率的均匀性，用斜置的方形四探针法，经显微镜、摄像头及通信口接入计算机，从计算机显示器观察，用程序及伺服电机控制
【机 构】
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河北工业大学微电子技术与材料研究所
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研制出检测ULSI芯片的薄层电阻测试仪，可用于测试无图形样片电阻率的均匀性，用斜置的方形四探针法，经显微镜、摄像头及通信口接入计算机，从计算机显示器观察，用程序及伺服电机控制平台和探针移动，使探针处于规定的位置，实现自动调整、测试；对测试系统中的探针游移造成的定位误差进行分析，推导出探针游移产生误差的计算公式，绘制了理论及实测误差分布图；测出无图形100mm样品电阻率，并绘制成等值线Mapping图。
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