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为实现压电探针在纳米器件表征和加工领域的应用，设计并制作了一种压电微悬臂梁探针．采用各向异性湿法腐蚀的方法得到纳米级硅针尖，用局部压电层方法解决了压电微悬臂梁探针制作过程中探针、压电薄膜和微悬臂梁之间的工艺兼容性问题．使用微力传感器测试平台对尺寸为450μm×70μm的压电悬臂梁探针进行测试，结果表明，这种尺寸的压电悬臂梁探针的弹性常数为21．17N／m，与理论计算值相符．通过对压电探针的设计制作，总结了湿法腐蚀-干法刻蚀等工艺的结合方案，为压电探针的广泛应用奠定了基础．