压电探针相关论文
为实现压电探针在纳米器件表征和加工领域的应用,设计并制作了一种压电微悬臂梁探针.采用各向异性湿法腐蚀的方法得到纳米级硅针尖......
研究了采用微悬臂梁上集成的ZnO压电薄膜作为微驱动的探针的直接激振方法，比较了间接激振和直接激振方法下探针在液体中的振动性能，......
为实现压电探针在纳米器件表征和加工领域的应用，设计并制作了一种压电微悬臂梁探针．采用各向异性湿法腐蚀的方法得到纳米级硅针尖，用......
