【摘 要】
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五棱镜扫描检测具有结构简单、检测周期短等优点,可实现低阶像差的高精度检测,是指导大口径、超大口径平面镜光学加工的有效途径。基于光线矢量追迹理论,建立五棱镜扫描检测
【机 构】
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中国科学院大学,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,
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五棱镜扫描检测具有结构简单、检测周期短等优点,可实现低阶像差的高精度检测,是指导大口径、超大口径平面镜光学加工的有效途径。基于光线矢量追迹理论,建立五棱镜扫描检测系统数学模型,并采用最小二乘法推导出系统测量精度与系统主要光学元件角度变化量之间的解析表达式。在此基础上,分析了系统测量精度对元件装调精度的灵敏度,给出了系统精确装调的实施方案,并进行了系统装调试验,探索出适合大口径平面镜检测的五棱镜扫描检测系统装调流程。实验结果表明,由装调过程引起的系统测量误差可控制在40 nrad以内。通过理论分析和装调试验,验证了使用五棱镜扫描检测技术进行大口径平面检测的可行性。
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