【摘 要】
:
The pulling rate in czochralski silicon (CZSi) growth is important for reducing the cost of solar cell.In this paper, double-heater, heat shield and composite a
【机 构】
:
SchoolofMaterialScienceandEngineering
【基金项目】
:
This project was financially supported by the National Natural Science Foundation of China (No.60576002).
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The pulling rate in czochralski silicon (CZSi) growth is important for reducing the cost of solar cell.In this paper, double-heater, heat shield and composite argon duct system were introduced in the Ф450 mm hot zone of a Czochralski furnace.The pulling r
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