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介绍了一种新的湿化学成膜法—液相沉积法,对液相沉积法制备薄膜的原理、工艺流程及最新进展进行了详细阐述,并概述了其应用前景。
液相沉积法的应用及发展
【摘 要】
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介绍了一种新的湿化学成膜法—液相沉积法,对液相沉积法制备薄膜的原理、工艺流程及最新进展进行了详细阐述,并概述了其应用前景。
【机 构】
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成都理工大学材料与化学化工学院
【出 处】
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广东微量元素科学
【发表日期】
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2006年03期
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