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介绍了几种典型的超精密加工表面微观形貌光学测量方法的测量原理及优缺点，评述了表面微观形貌光学测量技术的发展动态。
超精密加工表面微观形貌的光学测量方法
【摘 要】
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介绍了几种典型的超精密加工表面微观形貌光学测量方法的测量原理及优缺点，评述了表面微观形貌光学测量技术的发展动态。
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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1999年5期
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