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利用XPS、UPS、AES、X-光衍射和拉曼散射等技术,研究了在稳态热退火条件下共溅射的Mo-Si合金膜,硅化物的形成及电子结构特性.
MoSi2硅化物的形成及电子结构的研究
【摘 要】
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利用XPS、UPS、AES、X-光衍射和拉曼散射等技术,研究了在稳态热退火条件下共溅射的Mo-Si合金膜,硅化物的形成及电子结构特性.
【机 构】
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中国科学技术大学,中国科学院半导体研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1989年3期
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